UV光氧催化废气处理设备由初滤单元、C波段紫外线装置、催化装置、降解收集、臭氧发生器及过滤单元等设备和部件组成。该设备根据不同的废气成分配置27种以上相对应的惰性催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体， 与光源接触，惰性催化剂在338纳米光源以下发生催化反应，放大10-30倍光源效果，使其与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率。
工业废气利用排风设备输入到本净化设备后，UV光氧催化废气处理设备运用 UV紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过拜见管道排出室外。利用 UV光束裂解工业废气中的分子键，破坏核酸（DNA）,再通过臭氧进行氧化反应， 达到净化及杀灭的目的。从净化空气效率考虑，我们选择了C波段紫外线和臭氧结合高电晕电流装置，采用脉冲电晕吸附技术相结合的原理对气体进行，其中C波段紫外线主要用来去除硫化氢、氨、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、乙酸乙酯、乙烷、丙酮、尿烷、树脂等气体，使物转变为无机物。
UV光解主要工艺段技术原理：
众所周知，紫外线是由电磁波组成，其本身所带有的能量与波长直接有关，波长越短，能量越大。通过采用D波段内的真空紫外线（波长范围170~184.9nm），照射气体或恶臭气体分子，当这些气体分子吸收了这类紫外线光后，因紫外线光本身所带有的能量，使气体或恶臭气体分子内部发生裂解，化学键断裂，形成游离状态的原子或基团（C*、H*、O*等）。同时，混合气体中的氧气被紫外线光裂解形成游离的氧原子并结合生成臭氧【UV O2→O- O*(活性氧) O* O2→O3(臭氧)】；混合气体中的水蒸气被紫外线光裂解产生羟基【UV H2O→H OH-(羟基) 】，而这些生成的臭氧和羟基具有强的氧化性，可将废气分子裂解产生的原子和基团（甚至是气体或恶臭气体分子）氧化成H2O和CO2等 的低分子化合物。另外，利用 紫外线光束可裂解恶臭气体中的分子键，破坏的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应， 达到脱臭及的目的。
